国产光刻机关键技术有望取得新突破,我国实现0.1纳米万层镀膜工艺!由国家发改委立项支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步辐射光源(HEPS)首台科研设备于6月28日上午安装,为其提供技术研发与测试支撑能力的先进光源技术研发与测试平台(PAPS)启动试运行。其中,中科科仪控股...